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Passos na fabricação de circuitos integrados
A produção de circuitos integrados (CIs) requer grandes quantidades de capital humano e financeiro e está em constante evolução , mas alguns passos fundamentais são proeminentes . Os circuitos são construídos em bolachas de silício puro , de modo que uma chave para a produção de IC é o fabrico inicial de grandes bolachas em que múltiplos CIs podem ser construídos . Fotolitografia será usado para construir centenas de ICs em cada wafer e então estes ICs serão separados . Instruções
Silicon Wafer Produção
1

Produzir silício puro crescendo um grande cristal de silício. Aquece-se uma grande cuba de silício a uma temperatura elevada de cerca de 1400 graus Celsius num cadinho e, em seguida extrair -se lentamente para fora um único grande cristal puro , tipicamente com 200 mm de diâmetro a partir do centro da cuba rotativa . Legal este grande cristal cilíndrico, em seguida, cortá-lo cuidadosamente em bolachas finas menos de um milímetro de espessura . Superfície do apartamento wafer para tolerâncias precisas . Trate cada wafer com óxido de silício, que atua como um agente isolante.
2

iniciar a primeira etapa de fotolitografia brilhando um ultra-violeta (UV) através de uma máscara combinando o esquema de circuitos de cada camada para a bolacha . Cobrir toda a bolacha com um revestimento de protecção que também é sensível à luz UV . Execute este processo em uma sala limpa , onde o pó foi removido com ar mais limpo do que a de um quarto de hospital .
3

construir a primeira camada do circuito brilhando a luz UV através da primeira máscara , colocado na parte superior do chip revestido . O padrão de máscara permite alguma luz a cair sobre o chip , degradando-a apenas nas áreas descritas pela máscara . Desenvolver o chip , que remove as áreas revestidas degradadas e deixa um padrão sobre o chip.
4

Etch o chip com produtos químicos . Neste processo, a camada isolante de óxido de silício é removida , independentemente do padrão de máscara designado , deixando de silício puro exposto num padrão do tipo plano .
5

Tratar a camada de silício puro exposta através de um processo chamado de " doping " que adiciona pequenas quantidades de elementos tais como o fósforo e o boro, o que permite que o silício a ser utilizado como um agente de comutação .
6

Repetir os passos 2 a 5 do presente secção como necessário para completar o processo de circuito de camadas . Camadas adicionais de óxido de silício , a realização e material de isolamento deve ser adicionado , se necessário.
Adicionando Fios e Embalagens
7

Adicione fios de ligação para o chip. Deposite um metal condutor como o cobre uniformemente sobre o chip.
8

Coloque uma camada de fotorresiste sensíveis ao UV sobre o chip , cobrindo a camada de metal. Em seguida, coloque uma máscara padronizada após o circuito de fio desejado sobre o chip e irradiar o chip com a luz UV. Remover as áreas de fotorresiste não protegido de UV pela máscara.
9

Remover o metal não protegido por fotorresiste por outra rodada de gravura. Os fios são agora formado . Várias camadas de fios podem ser adicionados , se necessário através da repetição do processo .
10

Teste as fichas individuais sobre a bolacha , e destacá-las com uma serra de precisão . Adicionar uma caixa de proteção para cada chip e testar cada chip novo para a qualidade.

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