A Associação da Indústria de Semicondutores ( SIA ) representa 90 por cento dos produtos semicondutores produzidos nos Estados Unidos . A indústria de semicondutores dólar multi-billion vende milhões de microchips de computadores minúsculos , que são criados com eletrodos de plasma. Tipos de eletrodos de plasma são : indução acoplado , microondas ou rádio eletrodos de onda. Eléctrodos de plasma na parte inferior da fornalha eixos , alcançar temperaturas superiores a 6000 graus centígrados . Eletrodos de plasma vaporizar metal, que reveste de cobre ou de silicone formando semicondutores. Eletrodos de descarga elétrica Plasma Eletrodos
plasma liberar corrente elétrica através de uma substância que não conduz eletricidade . Air isola . Ele não conduz eletricidade , mas um campo elétrico vários milhares de volts passaram por ar normalmente isolante, cria nitrogênio, oxigênio e outros íons gasosos . O eletrodo de plasma provoca elétrons carregados negativamente para quebrar os átomos de nitrogênio ou de oxigênio e deixa os íons carregados positivamente . Os íons e elétrons (plasma) mover separadamente através da alta tensão criando uma corrente elétrica . Plasma conduz corrente elétrica.
Vaccuum Arc Plasma Eletrodos
Vacuum arco descargas elétricas usar revestimentos de plasma em metalurgia e como filmes de plasma. Os arcos de vácuo são a partir de eletrodos de alta tensão emparelhados em uma câmara de vácuo . O arco eléctrico leva o plasma ionizado e dirige o arco magnético para revestir uma superfície do microchip . O arco pode ser dirigido com um campo magnético . Revestimento microchips com um arco de plasma cobrada é um processo chamado " arco de deposição a vácuo . " Gotas de metal líquido de pulverização a partir da superfície dos eléctrodos , o que prejudica a qualidade do revestimento de plasma fina . As gotículas inconsistentes são removidos a partir do feixe de plasma , obstruindo o fluxo do arco de plasma entre o eléctrodo e a superfície do semicondutor . Este processo é chamado de " filtrada a vácuo arco deposição . "
Corona e Glow Discharge Eletrodos
Corona descarga elétrica é uma descarga elétrica não homogêneo parcial. Corona descarga elétrica é criado por um campo elétrico de alta tensão perto de um eletrodo afiada . Corona é uma descarga de baixa atual, de alta tensão. Brilho descargas são várias centenas de volts e 1 ampère de corrente . O atual ionizado baixo é amplificado em colisão com outras partículas. A amplificação gera electrões secundários . Descargas elétricas também são criados por microondas ou ondas de laser com ou sem eletrodos.
Plasma acoplado capacitivamente (CCP) Eletrodos
A plasma acoplado capacitivamente (CCP) eletrodo é realmente dois eletrodos de plasma com pouca distância entre eles dentro de um reator . A pressão do gás no interior do reactor pode ser menor do que a pressão da atmosfera . Um eletrodo CCP direciona as ondas de rádio , geralmente em 13,56 MHz . Um eléctrodo de plasma é ligado à energia eléctrica , e o outro é o eléctrodo de terra . Os eléctrodos do PCC são presas em paralelo , e de plasma formado desta maneira é acoplado capacitivamente plasma . Plasma acoplado capacitivamente às vezes produz luz ao gerar plasma com um capacitor. Os electrões bombardeando um eléctrodo rapidamente tornar-se carregado negativamente , e que criam corrente de plasma secundária , além da corrente alternada . Um eletrodo de corrente contínua excita os elétrons e íons de encargos . Depósitos Este microprocesso um filme plasma fina sobre um eletrodo . Semicondutores da CCP podem ser gravadas .
