? Sistemas Micro- Eletro- Mecânicos - MEMS - wafers são miniaturizados elementos mecânicos e eletro-mecânicos . Eles são compostos de estruturas miniaturizadas , sensores, atuadores e microeletrônica. Os dispositivos podem converter a energia de uma forma para outra, como a conversão de um sinal mecânico medido em um sinal elétrico . Usa

wafers de MEMS são utilizados em vários tipos de dispositivos eletrônicos, incluindo sensores, cabeças de impressão e micro- reatores. Eles também são usados ​​frequentemente em sensores de pressão , unidades de medição inercial , análise de DNA e sensores implantáveis. Wafers
material

MEMS são criados em silicone ou vidro wafers . Tipos de vidro especiais , incluindo vidro álcali- livre , baixo vidro alcalino , vidro especializado altamente transparente e de alta pureza sílica sintética fundida estão disponíveis para aplicações especializadas.

Tamanhos
wafers de MEMS

variam em tamanho de um mícron de vários milímetros . Tamanhos básicos são 4 , 6 e 8 polegadas , com espessura entre 0,05 e 2 mm. Os minúsculos atuadores mecânicos realizar proezas muito maiores do que seu tamanho implicaria .
Futuro da Tecnologia MEMS

Com o desenvolvimento da tecnologia MEMS , pode ser possível para estes miniaturizado sensores , atuadores e estruturas a serem incorporadas em um substrato de silício comum, juntamente com circuitos integrados. Isto irá combinar os cérebros de circuito com as capacidades de tomada de decisão dos MEMS .